(一)之定(ding)义
洁(jie)净室(Clean Room)，亦称为无尘(chen)室或清净室。
「洁(jie)净室(shi)(shi)」是(shi)指将一定空(kong)(kong)(kong)间(jian)范围(wei)内(nei)之空(kong)(kong)(kong)气(qi)(qi)中的(de)微粒子(zi)、有害空(kong)(kong)(kong)气(qi)(qi)、细(xi)菌(jun)等之污染物排除，并将室(shi)(shi)内(nei)之温度(du)、洁(jie)净度(du)、室(shi)(shi)内(nei)压力(li)、气(qi)(qi)流(liu)(liu)速(su)度(du)与气(qi)(qi)流(liu)(liu)分布、噪音振动及照(zhao)明、静电(dian)控制在某一需求(qiu)范围(wei)内(nei)，而所给予(yu)特别设计之房间(jian)。亦即(ji)是(shi)不论外在之空(kong)(kong)(kong)气(qi)(qi)条(tiao)件如何变化，其室(shi)(shi)内(nei)均能(neng)(neng)俱(ju)有维持原先所设定要求(qiu)之洁(jie)净度(du)、温湿度(du)及压力(li)等性(xing)能(neng)(neng)之特性(xing)。
洁(jie)(jie)净室主(zhu)要(yao)之作用在于控制产品(如硅芯片等(deng))所接触(chu)之大气的洁(jie)(jie)净度(du)日及温(wen)湿度(du)，使产品能在一个(ge)良好之环境(jing)空(kong)间中生产、制造，此(ci)空(kong)间我(wo)们称之为「洁(jie)(jie)净室」。
(二)洁净室之等级(ji)
世界(jie)各国均有自定规格，但(dan)普遍(bian)还(hai)是用美国联(lian)邦标准209为(wei)多，以(yi)下仅就209D及209E和(he)世界(jie)上其它各国制定标准作(zuo)介(jie)绍与相互比较。
209E与(yu)209D等(deng)大之(zhi)不同在于209E表(biao)示(shi)单位增(zeng)加了公(gong)制单位，洁净室(shi)等(deng)级以‵M′字头表(biao)示(shi)，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配(pei)合(he)国际公(gong)制单位之(zhi)标(biao)准化，M字母后之(zhi)阿拉伯数(shu)(shu)目字是以每立方公(gong)尺中(zhong)>=0.5μm之(zhi)微(wei)尘粒(li)子数(shu)(shu)目字以10的幂(mi)次方表(biao)示(shi)，取指数(shu)(shu)为之(zhi)，若微(wei)尘粒(li)子数(shu)(shu)介于前后二者完(wan)全幂(mi)次方之(zhi)间，则以1.5、2.5、3.5….表(biao)示(shi)。
美国联邦标(biao)准FS 209D都以英制(zhi)每立(li)方英呎为(wei)单(dan)位，日(ri)本(ben)则是(shi)采用公(gong)制(zhi)，即以每立(li)方公(gong)尺为(wei)单(dan)位，以0.1μm微粒(li)子为(wei)计数(shu)(shu)标(biao)准。日(ri)本(ben)标(biao)准之表(biao)示(shi)法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表(biao)示(shi)，好的等(deng)级为(wei)Class 1，差则为(wei)Class 8，以每立(li)方公(gong)尺中(zhong)微尘粒(li)子总(zong)数(shu)(shu)中(zhong)化为(wei)10的幂次方，取其(qi)指数(shu)(shu)而(er)得。
(三)洁净室控(kong)管之项目(mu)
1. 能除去空气中飘游(you)之微尘粒(li)子。
2. 能防(fang)止(zhi)微尘粒子之产生。
3. 温度和湿(shi)度之控(kong)制。
4. 压力之调节。
5. 有害气体之排除。
6. 结构物与(yu)隔(ge)间之气(qi)密性(xing)。
7. 静电之防制。
8. 电磁干扰(rao)预防。
9. 安(an)全(quan)因素之(zhi)考虑。
10. 节能之考量。
四)洁净(jing)室之分类(lei)
1.乱流(liu)式(Turbulent Flow)：
空(kong)气(qi)由空(kong)调(diao)箱经(jing)风(feng)管(guan)与洁(jie)净(jing)(jing)(jing)室(shi)内之(zhi)(zhi)空(kong)气(qi)过滤(lv)器(HEPA)进入洁(jie)净(jing)(jing)(jing)室(shi)，并由洁(jie)净(jing)(jing)(jing)室(shi)两侧隔间(jian)墙板或(huo)高(gao)架地板回风(feng)。气(qi)流非直线型运动而呈不规(gui)则之(zhi)(zhi)乱流或(huo)涡流状(zhuang)态(tai)。此(ci)型式适用于洁(jie)净(jing)(jing)(jing)室(shi)等(deng)级(ji)1,000-100,000级(ji)。
优点：构造(zao)简单、系统建(jian)造(zao)成本，洁(jie)净(jing)室之扩充比(bi)较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高(gao)洁(jie)净(jing)室等级。
缺点：乱流(liu)造成(cheng)的微尘粒子于(yu)室(shi)内空间飘(piao)浮不易(yi)排出，易(yi)污染制程产品。另(ling)外若系统(tong)停止(zhi)运转再激活，欲(yu)达需(xu)求之(zhi)洁(jie)净(jing)度，往往须耗时(shi)(shi)相(xiang)当长一段时(shi)(shi)间。
2.层流式(Laminar)：
层流式(shi)空(kong)气(qi)气(qi)流运动(dong)成一(yi)均匀之直线形，空(kong)气(qi)由覆盖率之过(guo)滤(lv)器(qi)进入室内，并(bing)由高架地板或(huo)两(liang)侧隔墙板回风，此型式(shi)适用(yong)于洁净(jing)(jing)室等(deng)级(ji)需(xu)定较高之环境使用(yong)，一(yi)般其(qi)洁净(jing)(jing)室等(deng)级(ji)为Class 1~100。其(qi)型式(shi)可分为二种：
(1)水平层流式(shi)(shi)：水平式(shi)(shi)空气自(zi)过(guo)滤(lv)器(qi)单方向吹出，由对边(bian)墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排(pai)出室(shi)外，一般在下流侧污染(ran)较严重。
优(you)点：构(gou)造简单，运转后短时间内(nei)即可变成稳定。
缺点(dian)：建造费用(yong)比乱(luan)流式高，室内空(kong)间不易扩充(chong)。
(2)垂直(zhi)层流式：房间(jian)天花板(ban)完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可(ke)(ke)得(de)较(jiao)高之洁(jie)净度(du)，在(zai)制(zhi)程中或(huo)工(gong)(gong)作人员所产(chan)生的尘埃可(ke)(ke)快速排出室(shi)外而(er)不会(hui)影响其它(ta)工(gong)(gong)作区域。
优点：管理容易，运(yun)转开始短时(shi)间内即可达(da)稳定状态(tai)，不易为(wei)作业状态(tai)或作业人员所影(ying)响。
缺点：构造费用较高，弹(dan)性运(yun)用空(kong)间(jian)困(kun)难，天花(hua)板之吊(diao)架相当(dang)占(zhan)空(kong)间(jian)，维修(xiu)更(geng)换过滤(lv)器较麻烦。
3.复合式(shi)(Mixed Type)：
复合(he)式(shi)为将(jiang)乱流(liu)式(shi)及层流(liu)式(shi)予以复合(he)或并用(yong)，可提供局(ju)部(bu)超洁净(jing)之(zhi)空气。
(1)洁(jie)(jie)净隧道(Clean Tunnel)：以(yi)HEPA或(huo)ULPA过滤(lv)器(qi)(qi)将制程区域或(huo)工作(zuo)区域覆盖使洁(jie)(jie)净度等级提高至10级以(yi)上，可节省安装运(yun)转费用。此(ci)型式(shi)需将作(zuo)业人员之工作(zuo)区与产品和机器(qi)(qi)维修予以(yi)隔离，以(yi)避免机器(qi)(qi)维修时(shi)影响(xiang)了工作(zuo)及品质，ULSI制程大都(dou)采用此(ci)种型式(shi)。
洁净(jing)隧道另有二项优点：A.弹性(xing)扩充(chong)容易； B.维(wei)修设备时可在(zai)维(wei)修区轻易执行。
(2)洁(jie)净(jing)管道(Clean Tube)：将产品(pin)流程(cheng)经过的自(zi)动生产线包围并净(jing)化处理(li)，将洁(jie)净(jing)度(du)等(deng)级(ji)提(ti)至100级(ji)以上(shang)。因产品(pin)和作业(ye)员及(ji)发尘环境相互隔(ge)离，少(shao)量(liang)之送风(feng)即可(ke)得(de)到良好(hao)之洁(jie)净(jing)度(du)，可(ke)节(jie)省能(neng)源，不(bu)需人工的自(zi)动化生产线为适宜使(shi)用。药品(pin)、食(shi)品(pin)业(ye)界(jie)及(ji)半(ban)导体业(ye)界(jie)均适用。
(3)并装(zhuang)局部洁净室(Clean Spot)：将(jiang)洁净室等级(ji)10,000~100,000之乱(luan)流(liu)洁净室内之产(chan)品制程区的洁净度等级(ji)提高(gao)为10~1000级(ji)以上，以为生(sheng)产(chan)之用(yong)；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此(ci)类。
洁净工作台：等级(ji)Class 1~100级(ji)。
洁净(jing)工作棚：为(wei)在(zai)乱流式之(zhi)洁净(jing)室(shi)空间(jian)(jian)内以防静(jing)电(dian)之(zhi)透明塑料(liao)布围成(cheng)一小(xiao)空间(jian)(jian)，采用独立之(zhi)HEPA或ULPA及空调送风(feng)机组而成(cheng)为(wei)一较(jiao)之(zhi)洁净(jing)空间(jian)(jian)，其等级(ji)为(wei)10~1000级(ji)，高度(du)在(zai)2.5米左(zuo)右，覆盖(gai)面(mian)积(ji)约10m2以下，四支(zhi)支(zhi)柱并加(jia)装(zhuang)活(huo)动轮(lun)，可(ke)为(wei)弹性运用。
(五(wu))洁净室气流之流动
洁净室的洁净度往往受到(dao)气流的影响(xiang)，换(huan)言(yan)之，即(ji)人(ren)、机器(qi)隔(ge)间、建(jian)筑结构等所(suo)产生的尘埃之移动、扩散受到(dao)气流的支配。
洁净(jing)室系利用(yong)HEPA、ULPA过滤(lv)空(kong)气(qi)，其尘(chen)埃的收集率达(da)99.97~99.99995%之多，因(yin)(yin)此经过此过滤(lv)器过滤(lv)的空(kong)气(qi)可说十分干净(jing)。然而洁净(jing)室内除了人以外，尚有(you)机器等之发(fa)(fa)尘(chen)源，这些发(fa)(fa)生(sheng)的尘(chen)埃一旦扩(kuo)散(san)，即无(wu)法保持洁净(jing)空(kong)间，因(yin)(yin)此必须利用(yong)气(qi)流将发(fa)(fa)生(sheng)的尘(chen)埃迅速排出室外。
洁(jie)净(jing)室(shi)内的(de)气(qi)(qi)流是(shi)左右洁(jie)净(jing)室(shi)性能的(de)重要因素，一般洁(jie)净(jing)室(shi)的(de)气(qi)(qi)流速度是(shi)选在0.25~0.5m/s
之间，此气流速(su)度(du)属微风区域，易受人、机器等的(de)动(dong)作而(er)干扰(rao)趋于混(hun)乱、虽提高风速(su)可抑制此一扰(rao)乱之影响(xiang)而(er)保持洁净度(du)、但因风速(su)的(de)提高，将影响(xiang)运转成本的(de)增加(jia)，所(suo)以应(ying)在满(man)足要求的(de)洁净度(du)水准之时，能以适当(dang)的(de)风速(su)供应(ying)，以达到(dao)适当(dang)的(de)风速(su)供应(ying)以达到(dao)经(jing)济(ji)性效果(guo)。
另一(yi)(yi)方面(mian)欲达到洁净(jing)室(shi)洁净(jing)度之稳定(ding)效果，均一(yi)(yi)气(qi)流之保(bao)持亦为一(yi)(yi)重要因素，均一(yi)(yi)气(qi)流若无法(fa)保(bao)持，表示风速有异，特别是在壁(bi)(bi)面(mian)，气(qi)流会延着壁(bi)(bi)面(mian)发生涡流作用(yong)，此时要实现高洁净(jing)度事实上(shang)很(hen)困难。
垂(chui)直层流式(shi)方向要保持均(jun)一(yi)气(qi)流必须：(a)吹出面的风(feng)速(su)(su)不(bu)可(ke)有速(su)(su)度上的差(cha)(cha)异(yi)；(b)地板(ban)回风(feng)板(ban)吸入面之(zhi)风(feng)速(su)(su)不(bu)可(ke)有速(su)(su)度上的差(cha)(cha)异(yi)。速(su)(su)度过(guo)低或过(guo)高(gao)(0.2m/s，0.7m/s)均(jun)有涡流之(zhi)现象(xiang)发(fa)生，而0.5m/s之(zhi)速(su)(su)度，气(qi)流则较均(jun)一(yi)，目前一(yi)般洁净室，其风(feng)速(su)(su)均(jun)取(qu)在0.25~0.5m/s之(zhi)间。
影响洁(jie)净室的气(qi)流(liu)因(yin)素很多，如制程设备、人(ren)员(yuan)、洁(jie)净室组装材、照明器(qi)具等，同(tong)时对(dui)于生(sheng)产设备上方(fang)气(qi)流(liu)的分(fen)流(liu)点，亦应(ying)列入考(kao)虑(lv)因(yin)素。
一般操(cao)作(zuo)台(tai)或生(sheng)产(chan)设(she)(she)备等表面的(de)(de)气流(liu)(liu)分(fen)流(liu)(liu)点，应设(she)(she)于洁净室空(kong)间(jian)(jian)与隔墙(qiang)板间(jian)(jian)距2/3之处，如此(ci)可使作(zuo)业(ye)(ye)(ye)人员(yuan)工作(zuo)时(shi)，气流(liu)(liu)可从制程区(qu)内(nei)部流(liu)(liu)向(xiang)作(zuo)业(ye)(ye)(ye)区(qu)，而(er)将(jiang)(jiang)微尘(chen)带(dai)走；若分(fen)流(liu)(liu)点配置在制程区(qu)前方，将(jiang)(jiang)成为(wei)不当的(de)(de)气流(liu)(liu)分(fen)流(liu)(liu)，此(ci)时(shi)大部份的(de)(de)气流(liu)(liu)将(jiang)(jiang)流(liu)(liu)至制程区(qu)之后，作(zuo)业(ye)(ye)(ye)员(yuan)操(cao)作(zuo)所引(yin)起(qi)的(de)(de)尘(chen)埃将(jiang)(jiang)被带(dai)到(dao)设(she)(she)备后面，工作(zuo)台(tai)因而(er)将(jiang)(jiang)受到(dao)污染，良率也势必降低。
洁(jie)净(jing)室(shi)内的工(gong)作桌等障碍物(wu)，在(zai)(zai)相(xiang)接处均会有涡流现象(xiang)发生，相(xiang)对地在(zai)(zai)其附近之(zhi)(zhi)洁(jie)净(jing)度将(jiang)会较(jiao)差，在(zai)(zai)工(gong)作桌面钻上回风(feng)孔，将(jiang)使涡流现象(xiang)减少；组(zu)装材料之(zhi)(zhi)选择是(shi)否(fou)恰当(dang)、设备布局是(shi)否(fou)完(wan)善(shan)，亦为气流是(shi)否(fou)成(cheng)为涡流现象(xiang)之(zhi)(zhi)重(zhong)要因素。
(六)洁净室之构(gou)成(cheng)
洁净室的构(gou)(gou)成(cheng)(cheng)是(shi)由下列(lie)各(ge)项系统所组(zu)成(cheng)(cheng)(在所组(zu)成(cheng)(cheng)的系统分子中是(shi)缺一不(bu)可的)，否则(ze)将无法构(gou)(gou)成(cheng)(cheng)一完整(zheng)且(qie)品质良好的洁净室：
(1)天花板(ban)系(xi)统：包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或(huo)(huo)U-Beam)、天花板(ban)格子梁(Ceiling grid或(huo)(huo)Ceilingframe)。
(2)空调系统：包括空气舱、过滤器系统、风车等。
(3)隔墙板(Partitional wall)：包括窗户、门。
(4)地(di)板(ban)：包(bao)括高架地(di)板(ban)或防静电(dian)舒美地(di)板(ban)。
(5)照明器(qi)具：包括日光灯、黄色(se)灯管等。
洁净室之(zhi)建筑主体(ti)构造(zao)，一般是用钢筋或骨水(shui)泥，但无论是何种构造(zao)，必须满足如下之(zhi)条(tiao)件：
A.不会因温度变化与(yu)振动而(er)发生裂痕；
B.不易产生微尘粒子，且很(hen)难附着粒子；
C.吸(xi)湿性小(xiao)；
D.为了维持室(shi)内(nei)之湿度(du)条件，热绝缘性(xing)要高(gao)
洁(jie)净室(Clean Room)，亦称为无尘(chen)室或清净室。
「洁(jie)净室(shi)(shi)」是(shi)指将一定空(kong)(kong)(kong)间(jian)范围(wei)内(nei)之空(kong)(kong)(kong)气(qi)(qi)中的(de)微粒子(zi)、有害空(kong)(kong)(kong)气(qi)(qi)、细(xi)菌(jun)等之污染物排除，并将室(shi)(shi)内(nei)之温度(du)、洁(jie)净度(du)、室(shi)(shi)内(nei)压力(li)、气(qi)(qi)流(liu)(liu)速(su)度(du)与气(qi)(qi)流(liu)(liu)分布、噪音振动及照(zhao)明、静电(dian)控制在某一需求(qiu)范围(wei)内(nei)，而所给予(yu)特别设计之房间(jian)。亦即(ji)是(shi)不论外在之空(kong)(kong)(kong)气(qi)(qi)条(tiao)件如何变化，其室(shi)(shi)内(nei)均能(neng)(neng)俱(ju)有维持原先所设定要求(qiu)之洁(jie)净度(du)、温湿度(du)及压力(li)等性(xing)能(neng)(neng)之特性(xing)。
洁(jie)(jie)净室主(zhu)要(yao)之作用在于控制产品(如硅芯片等(deng))所接触(chu)之大气的洁(jie)(jie)净度(du)日及温(wen)湿度(du)，使产品能在一个(ge)良好之环境(jing)空(kong)间中生产、制造，此(ci)空(kong)间我(wo)们称之为「洁(jie)(jie)净室」。
(二)洁净室之等级(ji)
世界(jie)各国均有自定规格，但(dan)普遍(bian)还(hai)是用美国联(lian)邦标准209为(wei)多，以(yi)下仅就209D及209E和(he)世界(jie)上其它各国制定标准作(zuo)介(jie)绍与相互比较。
209E与(yu)209D等(deng)大之(zhi)不同在于209E表(biao)示(shi)单位增(zeng)加了公(gong)制单位，洁净室(shi)等(deng)级以‵M′字头表(biao)示(shi)，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配(pei)合(he)国际公(gong)制单位之(zhi)标(biao)准化，M字母后之(zhi)阿拉伯数(shu)(shu)目字是以每立方公(gong)尺中(zhong)>=0.5μm之(zhi)微(wei)尘粒(li)子数(shu)(shu)目字以10的幂(mi)次方表(biao)示(shi)，取指数(shu)(shu)为之(zhi)，若微(wei)尘粒(li)子数(shu)(shu)介于前后二者完(wan)全幂(mi)次方之(zhi)间，则以1.5、2.5、3.5….表(biao)示(shi)。
美国联邦标(biao)准FS 209D都以英制(zhi)每立(li)方英呎为(wei)单(dan)位，日(ri)本(ben)则是(shi)采用公(gong)制(zhi)，即以每立(li)方公(gong)尺为(wei)单(dan)位，以0.1μm微粒(li)子为(wei)计数(shu)(shu)标(biao)准。日(ri)本(ben)标(biao)准之表(biao)示(shi)法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表(biao)示(shi)，好的等(deng)级为(wei)Class 1，差则为(wei)Class 8，以每立(li)方公(gong)尺中(zhong)微尘粒(li)子总(zong)数(shu)(shu)中(zhong)化为(wei)10的幂次方，取其(qi)指数(shu)(shu)而(er)得。
(三)洁净室控(kong)管之项目(mu)
1. 能除去空气中飘游(you)之微尘粒(li)子。
2. 能防(fang)止(zhi)微尘粒子之产生。
3. 温度和湿(shi)度之控(kong)制。
4. 压力之调节。
5. 有害气体之排除。
6. 结构物与(yu)隔(ge)间之气(qi)密性(xing)。
7. 静电之防制。
8. 电磁干扰(rao)预防。
9. 安(an)全(quan)因素之(zhi)考虑。
10. 节能之考量。
四)洁净(jing)室之分类(lei)
1.乱流(liu)式(Turbulent Flow)：
空(kong)气(qi)由空(kong)调(diao)箱经(jing)风(feng)管(guan)与洁(jie)净(jing)(jing)(jing)室(shi)内之(zhi)(zhi)空(kong)气(qi)过滤(lv)器(HEPA)进入洁(jie)净(jing)(jing)(jing)室(shi)，并由洁(jie)净(jing)(jing)(jing)室(shi)两侧隔间(jian)墙板或(huo)高(gao)架地板回风(feng)。气(qi)流非直线型运动而呈不规(gui)则之(zhi)(zhi)乱流或(huo)涡流状(zhuang)态(tai)。此(ci)型式适用于洁(jie)净(jing)(jing)(jing)室(shi)等(deng)级(ji)1,000-100,000级(ji)。
优点：构造(zao)简单、系统建(jian)造(zao)成本，洁(jie)净(jing)室之扩充比(bi)较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高(gao)洁(jie)净(jing)室等级。
缺点：乱流(liu)造成(cheng)的微尘粒子于(yu)室(shi)内空间飘(piao)浮不易(yi)排出，易(yi)污染制程产品。另(ling)外若系统(tong)停止(zhi)运转再激活，欲(yu)达需(xu)求之(zhi)洁(jie)净(jing)度，往往须耗时(shi)(shi)相(xiang)当长一段时(shi)(shi)间。
2.层流式(Laminar)：
层流式(shi)空(kong)气(qi)气(qi)流运动(dong)成一(yi)均匀之直线形，空(kong)气(qi)由覆盖率之过(guo)滤(lv)器(qi)进入室内，并(bing)由高架地板或(huo)两(liang)侧隔墙板回风，此型式(shi)适用(yong)于洁净(jing)(jing)室等(deng)级(ji)需(xu)定较高之环境使用(yong)，一(yi)般其(qi)洁净(jing)(jing)室等(deng)级(ji)为Class 1~100。其(qi)型式(shi)可分为二种：
(1)水平层流式(shi)(shi)：水平式(shi)(shi)空气自(zi)过(guo)滤(lv)器(qi)单方向吹出，由对边(bian)墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排(pai)出室(shi)外，一般在下流侧污染(ran)较严重。
优(you)点：构(gou)造简单，运转后短时间内(nei)即可变成稳定。
缺点(dian)：建造费用(yong)比乱(luan)流式高，室内空(kong)间不易扩充(chong)。
(2)垂直(zhi)层流式：房间(jian)天花板(ban)完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可(ke)(ke)得(de)较(jiao)高之洁(jie)净度(du)，在(zai)制(zhi)程中或(huo)工(gong)(gong)作人员所产(chan)生的尘埃可(ke)(ke)快速排出室(shi)外而(er)不会(hui)影响其它(ta)工(gong)(gong)作区域。
优点：管理容易，运(yun)转开始短时(shi)间内即可达(da)稳定状态(tai)，不易为(wei)作业状态(tai)或作业人员所影(ying)响。
缺点：构造费用较高，弹(dan)性运(yun)用空(kong)间(jian)困(kun)难，天花(hua)板之吊(diao)架相当(dang)占(zhan)空(kong)间(jian)，维修(xiu)更(geng)换过滤(lv)器较麻烦。
3.复合式(shi)(Mixed Type)：
复合(he)式(shi)为将(jiang)乱流(liu)式(shi)及层流(liu)式(shi)予以复合(he)或并用(yong)，可提供局(ju)部(bu)超洁净(jing)之(zhi)空气。
(1)洁(jie)(jie)净隧道(Clean Tunnel)：以(yi)HEPA或(huo)ULPA过滤(lv)器(qi)(qi)将制程区域或(huo)工作(zuo)区域覆盖使洁(jie)(jie)净度等级提高至10级以(yi)上，可节省安装运(yun)转费用。此(ci)型式(shi)需将作(zuo)业人员之工作(zuo)区与产品和机器(qi)(qi)维修予以(yi)隔离，以(yi)避免机器(qi)(qi)维修时(shi)影响(xiang)了工作(zuo)及品质，ULSI制程大都(dou)采用此(ci)种型式(shi)。
洁净(jing)隧道另有二项优点：A.弹性(xing)扩充(chong)容易； B.维(wei)修设备时可在(zai)维(wei)修区轻易执行。
(2)洁(jie)净(jing)管道(Clean Tube)：将产品(pin)流程(cheng)经过的自(zi)动生产线包围并净(jing)化处理(li)，将洁(jie)净(jing)度(du)等(deng)级(ji)提(ti)至100级(ji)以上(shang)。因产品(pin)和作业(ye)员及(ji)发尘环境相互隔(ge)离，少(shao)量(liang)之送风(feng)即可(ke)得(de)到良好(hao)之洁(jie)净(jing)度(du)，可(ke)节(jie)省能(neng)源，不(bu)需人工的自(zi)动化生产线为适宜使(shi)用。药品(pin)、食(shi)品(pin)业(ye)界(jie)及(ji)半(ban)导体业(ye)界(jie)均适用。
(3)并装(zhuang)局部洁净室(Clean Spot)：将(jiang)洁净室等级(ji)10,000~100,000之乱(luan)流(liu)洁净室内之产(chan)品制程区的洁净度等级(ji)提高(gao)为10~1000级(ji)以上，以为生(sheng)产(chan)之用(yong)；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此(ci)类。
洁净工作台：等级(ji)Class 1~100级(ji)。
洁净(jing)工作棚：为(wei)在(zai)乱流式之(zhi)洁净(jing)室(shi)空间(jian)(jian)内以防静(jing)电(dian)之(zhi)透明塑料(liao)布围成(cheng)一小(xiao)空间(jian)(jian)，采用独立之(zhi)HEPA或ULPA及空调送风(feng)机组而成(cheng)为(wei)一较(jiao)之(zhi)洁净(jing)空间(jian)(jian)，其等级(ji)为(wei)10~1000级(ji)，高度(du)在(zai)2.5米左(zuo)右，覆盖(gai)面(mian)积(ji)约10m2以下，四支(zhi)支(zhi)柱并加(jia)装(zhuang)活(huo)动轮(lun)，可(ke)为(wei)弹性运用。
(五(wu))洁净室气流之流动
洁净室的洁净度往往受到(dao)气流的影响(xiang)，换(huan)言(yan)之，即(ji)人(ren)、机器(qi)隔(ge)间、建(jian)筑结构等所(suo)产生的尘埃之移动、扩散受到(dao)气流的支配。
洁净(jing)室系利用(yong)HEPA、ULPA过滤(lv)空(kong)气(qi)，其尘(chen)埃的收集率达(da)99.97~99.99995%之多，因(yin)(yin)此经过此过滤(lv)器过滤(lv)的空(kong)气(qi)可说十分干净(jing)。然而洁净(jing)室内除了人以外，尚有(you)机器等之发(fa)(fa)尘(chen)源，这些发(fa)(fa)生(sheng)的尘(chen)埃一旦扩(kuo)散(san)，即无(wu)法保持洁净(jing)空(kong)间，因(yin)(yin)此必须利用(yong)气(qi)流将发(fa)(fa)生(sheng)的尘(chen)埃迅速排出室外。
洁(jie)净(jing)室(shi)内的(de)气(qi)(qi)流是(shi)左右洁(jie)净(jing)室(shi)性能的(de)重要因素，一般洁(jie)净(jing)室(shi)的(de)气(qi)(qi)流速度是(shi)选在0.25~0.5m/s
之间，此气流速(su)度(du)属微风区域，易受人、机器等的(de)动(dong)作而(er)干扰(rao)趋于混(hun)乱、虽提高风速(su)可抑制此一扰(rao)乱之影响(xiang)而(er)保持洁净度(du)、但因风速(su)的(de)提高，将影响(xiang)运转成本的(de)增加(jia)，所(suo)以应(ying)在满(man)足要求的(de)洁净度(du)水准之时，能以适当(dang)的(de)风速(su)供应(ying)，以达到(dao)适当(dang)的(de)风速(su)供应(ying)以达到(dao)经(jing)济(ji)性效果(guo)。
另一(yi)(yi)方面(mian)欲达到洁净(jing)室(shi)洁净(jing)度之稳定(ding)效果，均一(yi)(yi)气(qi)流之保(bao)持亦为一(yi)(yi)重要因素，均一(yi)(yi)气(qi)流若无法(fa)保(bao)持，表示风速有异，特别是在壁(bi)(bi)面(mian)，气(qi)流会延着壁(bi)(bi)面(mian)发生涡流作用(yong)，此时要实现高洁净(jing)度事实上(shang)很(hen)困难。
垂(chui)直层流式(shi)方向要保持均(jun)一(yi)气(qi)流必须：(a)吹出面的风(feng)速(su)(su)不(bu)可(ke)有速(su)(su)度上的差(cha)(cha)异(yi)；(b)地板(ban)回风(feng)板(ban)吸入面之(zhi)风(feng)速(su)(su)不(bu)可(ke)有速(su)(su)度上的差(cha)(cha)异(yi)。速(su)(su)度过(guo)低或过(guo)高(gao)(0.2m/s，0.7m/s)均(jun)有涡流之(zhi)现象(xiang)发(fa)生，而0.5m/s之(zhi)速(su)(su)度，气(qi)流则较均(jun)一(yi)，目前一(yi)般洁净室，其风(feng)速(su)(su)均(jun)取(qu)在0.25~0.5m/s之(zhi)间。
影响洁(jie)净室的气(qi)流(liu)因(yin)素很多，如制程设备、人(ren)员(yuan)、洁(jie)净室组装材、照明器(qi)具等，同(tong)时对(dui)于生(sheng)产设备上方(fang)气(qi)流(liu)的分(fen)流(liu)点，亦应(ying)列入考(kao)虑(lv)因(yin)素。
一般操(cao)作(zuo)台(tai)或生(sheng)产(chan)设(she)(she)备等表面的(de)(de)气流(liu)(liu)分(fen)流(liu)(liu)点，应设(she)(she)于洁净室空(kong)间(jian)(jian)与隔墙(qiang)板间(jian)(jian)距2/3之处，如此(ci)可使作(zuo)业(ye)(ye)(ye)人员(yuan)工作(zuo)时(shi)，气流(liu)(liu)可从制程区(qu)内(nei)部流(liu)(liu)向(xiang)作(zuo)业(ye)(ye)(ye)区(qu)，而(er)将(jiang)(jiang)微尘(chen)带(dai)走；若分(fen)流(liu)(liu)点配置在制程区(qu)前方，将(jiang)(jiang)成为(wei)不当的(de)(de)气流(liu)(liu)分(fen)流(liu)(liu)，此(ci)时(shi)大部份的(de)(de)气流(liu)(liu)将(jiang)(jiang)流(liu)(liu)至制程区(qu)之后，作(zuo)业(ye)(ye)(ye)员(yuan)操(cao)作(zuo)所引(yin)起(qi)的(de)(de)尘(chen)埃将(jiang)(jiang)被带(dai)到(dao)设(she)(she)备后面，工作(zuo)台(tai)因而(er)将(jiang)(jiang)受到(dao)污染，良率也势必降低。
洁(jie)净(jing)室(shi)内的工(gong)作桌等障碍物(wu)，在(zai)(zai)相(xiang)接处均会有涡流现象(xiang)发生，相(xiang)对地在(zai)(zai)其附近之(zhi)(zhi)洁(jie)净(jing)度将(jiang)会较(jiao)差，在(zai)(zai)工(gong)作桌面钻上回风(feng)孔，将(jiang)使涡流现象(xiang)减少；组(zu)装材料之(zhi)(zhi)选择是(shi)否(fou)恰当(dang)、设备布局是(shi)否(fou)完(wan)善(shan)，亦为气流是(shi)否(fou)成(cheng)为涡流现象(xiang)之(zhi)(zhi)重(zhong)要因素。
(六)洁净室之构(gou)成(cheng)
洁净室的构(gou)(gou)成(cheng)(cheng)是(shi)由下列(lie)各(ge)项系统所组(zu)成(cheng)(cheng)(在所组(zu)成(cheng)(cheng)的系统分子中是(shi)缺一不(bu)可的)，否则(ze)将无法构(gou)(gou)成(cheng)(cheng)一完整(zheng)且(qie)品质良好的洁净室：
(1)天花板(ban)系(xi)统：包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或(huo)(huo)U-Beam)、天花板(ban)格子梁(Ceiling grid或(huo)(huo)Ceilingframe)。
(2)空调系统：包括空气舱、过滤器系统、风车等。
(3)隔墙板(Partitional wall)：包括窗户、门。
(4)地(di)板(ban)：包(bao)括高架地(di)板(ban)或防静电(dian)舒美地(di)板(ban)。
(5)照明器(qi)具：包括日光灯、黄色(se)灯管等。
洁净室之(zhi)建筑主体(ti)构造(zao)，一般是用钢筋或骨水(shui)泥，但无论是何种构造(zao)，必须满足如下之(zhi)条(tiao)件：
A.不会因温度变化与(yu)振动而(er)发生裂痕；
B.不易产生微尘粒子，且很(hen)难附着粒子；
C.吸(xi)湿性小(xiao)；
D.为了维持室(shi)内(nei)之湿度(du)条件，热绝缘性(xing)要高(gao)
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