一)洁净室之定义
洁净(jing)室(shi)(Clean Room)，亦称为无尘室(shi)或清净(jing)室(shi)。
「洁(jie)净室(shi)(shi)」是(shi)指(zhi)将(jiang)一定空间(jian)范围内(nei)之空气(qi)中(zhong)的微粒子、有害空气(qi)、细菌等之污(wu)染物排除(chu)，并将(jiang)室(shi)(shi)内(nei)之温度(du)、洁(jie)净度(du)、室(shi)(shi)内(nei)压力(li)、气(qi)流(liu)速度(du)与气(qi)流(liu)分布、噪(zao)音振动及照明(ming)、静电(dian)控制在某一需求(qiu)范围内(nei)，而(er)所(suo)给(ji)予特(te)别设计之房间(jian)。亦(yi)即是(shi)不论(lun)外在之空气(qi)条件如(ru)何变化，其(qi)室(shi)(shi)内(nei)均能俱有维持原先(xian)所(suo)设定要(yao)求(qiu)之洁(jie)净度(du)、温湿(shi)度(du)及压力(li)等性能之特(te)性。
洁净(jing)室(shi)主要之(zhi)作用在(zai)于控(kong)制(zhi)产(chan)品(如硅芯片等(deng))所接触之(zhi)大气的(de)洁净(jing)度日(ri)及温湿度，使产(chan)品能(neng)在(zai)一个良好之(zhi)环(huan)境空(kong)间中生产(chan)、制(zhi)造，此(ci)空(kong)间我们称(cheng)之(zhi)为(wei)「洁净(jing)室(shi)」。
(二)洁(jie)净室(shi)之等级
世界各国(guo)均有(you)自(zi)定规(gui)格，但普(pu)遍(bian)还(hai)是用美国(guo)联邦(bang)标(biao)准209为(wei)多，以下仅就209D及(ji)209E和世界上其它各国(guo)制定标(biao)准作介(jie)绍与相互比较。
209E与209D等(deng)大(da)之(zhi)(zhi)不同在于209E表示(shi)单(dan)位增加了公制(zhi)单(dan)位，洁净(jing)室等(deng)级(ji)以‵M′字头表示(shi)，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推(tui)，配合国际公制(zhi)单(dan)位之(zhi)(zhi)标准(zhun)化，M字母后(hou)(hou)之(zhi)(zhi)阿拉伯数目(mu)字是以每立(li)方(fang)公尺(chi)中>=0.5μm之(zhi)(zhi)微(wei)尘粒(li)子数目(mu)字以10的幂次方(fang)表示(shi)，取指数为之(zhi)(zhi)，若微(wei)尘粒(li)子数介于前后(hou)(hou)二(er)者完全(quan)幂次方(fang)之(zhi)(zhi)间，则以1.5、2.5、3.5….表示(shi)。
美(mei)国联邦标准FS 209D都以(yi)英制每(mei)立方英呎为(wei)单位，日(ri)本则是采用公制，即以(yi)每(mei)立方公尺为(wei)单位，以(yi)0.1μm微(wei)粒(li)子(zi)为(wei)计数标准。日(ri)本标准之(zhi)表(biao)示(shi)法以(yi)Class 1，Class 2，Class 3……Class8表(biao)示(shi)，好的(de)等级为(wei)Class 1，差则为(wei)Class 8，以(yi)每(mei)立方公尺中(zhong)微(wei)尘(chen)粒(li)子(zi)总数中(zhong)化为(wei)10的(de)幂次方，取其指数而得。
(三)洁净室控管之(zhi)项目
1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
2. 能防止微尘粒子(zi)之(zhi)产生。
3. 温度和湿度之控制。
4. 压力之调(diao)节。
5. 有害气体之排除。
6. 结构物(wu)与隔(ge)间之(zhi)气(qi)密性。
7. 静电之防制。
8. 电(dian)磁干扰预防。
9. 安全因素之考虑。
10. 节能(neng)之考(kao)量。
四)洁净(jing)室之分类(lei)
1.乱(luan)流式(Turbulent Flow)：
空(kong)(kong)气(qi)由空(kong)(kong)调箱经(jing)风管与(yu)洁净(jing)室(shi)内之空(kong)(kong)气(qi)过滤器(HEPA)进入洁净(jing)室(shi)，并由洁净(jing)室(shi)两侧隔间(jian)墙板或高架地(di)板回风。气(qi)流(liu)非(fei)直线型(xing)运动而(er)呈不规则之乱流(liu)或涡流(liu)状态。此(ci)型(xing)式适用(yong)于(yu)洁净(jing)室(shi)等(deng)级(ji)1,000-100,000级(ji)。
优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之(zhi)扩(kuo)充比较容易，在某些特殊(shu)用(yong)途场所(suo)，可并用(yong)无尘工作台，提(ti)高洁净室等(deng)级。
缺(que)点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易(yi)排出，易(yi)污染制程产(chan)品。另外若系统(tong)停止运转再激(ji)活，欲达需求之洁(jie)净度，往往须耗时(shi)相当长(zhang)一段时(shi)间。
2.层流式(Laminar)：
层流(liu)式(shi)(shi)(shi)空气气流(liu)运动成一(yi)均(jun)匀之(zhi)(zhi)直(zhi)线形(xing)，空气由覆盖率之(zhi)(zhi)过滤器进入室(shi)(shi)内(nei)，并(bing)由高架地板或(huo)两侧隔墙板回(hui)风(feng)，此(ci)型(xing)式(shi)(shi)(shi)适用(yong)于洁净(jing)室(shi)(shi)等级需定较(jiao)高之(zhi)(zhi)环境使用(yong)，一(yi)般其(qi)洁净(jing)室(shi)(shi)等级为(wei)Class 1~100。其(qi)型(xing)式(shi)(shi)(shi)可分(fen)为(wei)二(er)种：
(1)水(shui)平层流式(shi)：水(shui)平式(shi)空气自(zi)过(guo)滤器单方向吹(chui)出，由(you)对边(bian)墙(qiang)壁之回风(feng)(feng)系统回风(feng)(feng)，尘埃随风(feng)(feng)向排(pai)出室外，一般在下(xia)流侧污染较严(yan)重(zhong)。
优(you)点：构(gou)造(zao)简单，运(yun)转(zhuan)后短(duan)时间(jian)内即(ji)可变成稳定。
缺点：建造费用(yong)比乱流式高(gao)，室内空间不易扩充。
(2)垂直层(ceng)流(liu)式：房间天花板(ban)完(wan)全以(yi)ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹(chui)，可(ke)得较高之(zhi)洁净度(du)，在制(zhi)程中或(huo)工作(zuo)人员所产生的(de)尘(chen)埃可(ke)快速排出室外而不会影(ying)响其它工作(zuo)区域(yu)。
优点：管理容易，运转开始(shi)短时间内(nei)即(ji)可(ke)达稳(wen)定(ding)状(zhuang)态，不易为(wei)作业(ye)状(zhuang)态或作业(ye)人(ren)员所(suo)影响。
缺点(dian)：构造费(fei)用较高，弹(dan)性运用空间(jian)困(kun)难，天花板之吊(diao)架相(xiang)当占空间(jian)，维修(xiu)更换过(guo)滤器较麻烦。
3.复合式(Mixed Type)：
复合(he)式(shi)为将乱(luan)流式(shi)及层(ceng)流式(shi)予以复合(he)或并(bing)用(yong)，可提供(gong)局部超(chao)洁(jie)净之空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或(huo)ULPA过滤器将(jiang)制(zhi)程(cheng)区(qu)域(yu)或(huo)工(gong)作区(qu)域(yu)覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省(sheng)安(an)装运转费(fei)用(yong)(yong)。此型式需将(jiang)作业人员之工(gong)作区(qu)与产品和机(ji)器维修予以隔离，以避免机(ji)器维修时影响了工(gong)作及品质，ULSI制(zhi)程(cheng)大(da)都采用(yong)(yong)此种型式。
洁净隧道另有(you)二项优点：A.弹性扩(kuo)充容易； B.维(wei)修(xiu)设备(bei)时可在维(wei)修(xiu)区轻易执行。
(2)洁净(jing)(jing)(jing)管道(dao)(Clean Tube)：将产(chan)(chan)品(pin)(pin)流程经过的自(zi)动(dong)生产(chan)(chan)线包围(wei)并净(jing)(jing)(jing)化处理，将洁净(jing)(jing)(jing)度(du)等级(ji)提至100级(ji)以上。因(yin)产(chan)(chan)品(pin)(pin)和作业员及(ji)发尘(chen)环境(jing)相互(hu)隔离，少量之送风即可得到良(liang)好之洁净(jing)(jing)(jing)度(du)，可节(jie)省(sheng)能源，不需(xu)人工的自(zi)动(dong)化生产(chan)(chan)线为适宜使(shi)用(yong)。药品(pin)(pin)、食品(pin)(pin)业界及(ji)半导体业界均(jun)适用(yong)。
(3)并装局(ju)部洁(jie)净(jing)(jing)室(Clean Spot)：将洁(jie)净(jing)(jing)室等级10,000~100,000之乱流洁(jie)净(jing)(jing)室内之产品(pin)制程区(qu)的(de)洁(jie)净(jing)(jing)度等级提高(gao)为10~1000级以上，以为生产之用；洁(jie)净(jing)(jing)工作(zuo)台、洁(jie)净(jing)(jing)工作(zuo)棚(peng)、洁(jie)净(jing)(jing)风柜(ju)即属此类。
洁(jie)净工作台：等级(ji)Class 1~100级(ji)。
洁(jie)(jie)净工作棚：为(wei)在乱(luan)流式之(zhi)(zhi)洁(jie)(jie)净室空间内(nei)以防静电之(zhi)(zhi)透明塑(su)料布围成(cheng)一小空间，采用独立之(zhi)(zhi)HEPA或ULPA及空调送风(feng)机(ji)组而成(cheng)为(wei)一较之(zhi)(zhi)洁(jie)(jie)净空间，其等级为(wei)10~1000级，高度(du)在2.5米左右，覆(fu)盖面(mian)积约10m2以下(xia)，四(si)支(zhi)支(zhi)柱(zhu)并加装活动轮(lun)，可为(wei)弹性运用。
(五)洁净室气流(liu)之(zhi)流(liu)动
洁(jie)净室的洁(jie)净度往(wang)往(wang)受到气(qi)流的影响，换言之(zhi)(zhi)，即人、机(ji)器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之(zhi)(zhi)移动(dong)、扩散受到气(qi)流的支(zhi)配(pei)。
洁净(jing)室系利(li)用(yong)HEPA、ULPA过(guo)滤(lv)(lv)空(kong)气(qi)，其尘埃(ai)的(de)(de)收集率(lv)达99.97~99.99995%之多，因(yin)此经过(guo)此过(guo)滤(lv)(lv)器过(guo)滤(lv)(lv)的(de)(de)空(kong)气(qi)可说(shuo)十分干净(jing)。然而(er)洁净(jing)室内除(chu)了人以外，尚有机(ji)器等(deng)之发(fa)尘源，这些发(fa)生的(de)(de)尘埃(ai)一(yi)旦扩散(san)，即无法保持洁净(jing)空(kong)间，因(yin)此必(bi)须利(li)用(yong)气(qi)流(liu)将发(fa)生的(de)(de)尘埃(ai)迅速排(pai)出室外。
洁净(jing)(jing)室内的气(qi)流(liu)是左右洁净(jing)(jing)室性能的重要因(yin)素，一般洁净(jing)(jing)室的气(qi)流(liu)速(su)度(du)是选在0.25~0.5m/s
之间，此气流速(su)度属微(wei)风(feng)区域，易受(shou)人、机器等的(de)动作而干扰(rao)趋于混乱、虽提高(gao)风(feng)速(su)可抑制此一扰(rao)乱之影响(xiang)而保持洁(jie)净度、但因风(feng)速(su)的(de)提高(gao)，将影响(xiang)运(yun)转成本的(de)增(zeng)加，所以(yi)应在(zai)满足要求(qiu)的(de)洁(jie)净度水准(zhun)之时(shi)，能以(yi)适(shi)当(dang)的(de)风(feng)速(su)供(gong)应，以(yi)达到(dao)适(shi)当(dang)的(de)风(feng)速(su)供(gong)应以(yi)达到(dao)经(jing)济性(xing)效果。
另一方(fang)面欲达到洁(jie)净(jing)(jing)室洁(jie)净(jing)(jing)度(du)之稳定效果，均一气流之保(bao)(bao)持亦(yi)为一重(zhong)要因素，均一气流若无法保(bao)(bao)持，表示风(feng)速有(you)异，特别(bie)是在壁(bi)(bi)面，气流会延着壁(bi)(bi)面发生涡流作用(yong)，此时要实现(xian)高洁(jie)净(jing)(jing)度(du)事实上很(hen)困难。
垂直层流式(shi)方向要保持(chi)均一(yi)气流必须：(a)吹出面的(de)(de)风(feng)(feng)速不可有速度(du)上(shang)的(de)(de)差异；(b)地板回风(feng)(feng)板吸入(ru)面之风(feng)(feng)速不可有速度(du)上(shang)的(de)(de)差异。速度(du)过低或过高(gao)(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度(du)，气流则较(jiao)均一(yi)，目前(qian)一(yi)般(ban)洁净室，其风(feng)(feng)速均取(qu)在0.25~0.5m/s之间。
影响洁净室(shi)的气流(liu)因素很多，如制程设备、人员(yuan)、洁净室(shi)组装材、照(zhao)明(ming)器具等，同(tong)时对于生产设备上方气流(liu)的分流(liu)点(dian)，亦(yi)应列入考(kao)虑因素。
一般操作(zuo)(zuo)台或生产设(she)(she)(she)备等表面的(de)(de)气(qi)(qi)流(liu)(liu)分流(liu)(liu)点，应设(she)(she)(she)于洁净室空间与隔(ge)墙板间距2/3之(zhi)处，如此(ci)可使作(zuo)(zuo)业(ye)人员工作(zuo)(zuo)时(shi)，气(qi)(qi)流(liu)(liu)可从(cong)制(zhi)程(cheng)(cheng)区内部流(liu)(liu)向作(zuo)(zuo)业(ye)区，而(er)将(jiang)微尘(chen)带走；若分流(liu)(liu)点配置在制(zhi)程(cheng)(cheng)区前(qian)方，将(jiang)成为不当(dang)的(de)(de)气(qi)(qi)流(liu)(liu)分流(liu)(liu)，此(ci)时(shi)大部份(fen)的(de)(de)气(qi)(qi)流(liu)(liu)将(jiang)流(liu)(liu)至制(zhi)程(cheng)(cheng)区之(zhi)后，作(zuo)(zuo)业(ye)员操作(zuo)(zuo)所(suo)引起的(de)(de)尘(chen)埃(ai)将(jiang)被带到(dao)(dao)设(she)(she)(she)备后面，工作(zuo)(zuo)台因而(er)将(jiang)受(shou)到(dao)(dao)污染，良率也(ye)势必降低。
洁净室内的(de)工(gong)作(zuo)桌(zhuo)等障碍物，在相(xiang)接处均会有(you)涡流(liu)现(xian)象(xiang)发生(sheng)，相(xiang)对地在其(qi)附(fu)近之洁净度将(jiang)会较差，在工(gong)作(zuo)桌(zhuo)面钻上回风(feng)孔，将(jiang)使涡流(liu)现(xian)象(xiang)减少；组装材料之选择是(shi)否(fou)恰当、设备布局是(shi)否(fou)完善，亦为气流(liu)是(shi)否(fou)成为涡流(liu)现(xian)象(xiang)之重(zhong)要因素。
(六)洁净(jing)室之构(gou)成(cheng)
洁净(jing)室的构(gou)(gou)成(cheng)(cheng)是由下(xia)列各(ge)项系统(tong)所(suo)组(zu)成(cheng)(cheng)(在(zai)所(suo)组(zu)成(cheng)(cheng)的系统(tong)分子(zi)中是缺一不可的)，否则将(jiang)无法构(gou)(gou)成(cheng)(cheng)一完整(zheng)且品(pin)质(zhi)良好的洁净(jing)室：
(1)天(tian)花板系统：包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天(tian)花板格子(zi)梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
(2)空(kong)调系统：包括空(kong)气舱(cang)、过滤器系统、风车(che)等。
(3)隔墙板(Partitional wall)：包括(kuo)窗(chuang)户、门。
(4)地(di)(di)板：包括高架地(di)(di)板或(huo)防静电舒美地(di)(di)板。
(5)照明器(qi)具：包括(kuo)日光(guang)灯、黄(huang)色灯管(guan)等。
洁净室之建(jian)筑(zhu)主体构(gou)造(zao)，一般是用钢筋或骨水泥，但(dan)无论是何(he)种构(gou)造(zao)，必须满足(zu)如下之条件：
A.不会因温度变化与振(zhen)动而发生裂痕；
B.不(bu)易产生微尘粒子，且(qie)很难附(fu)着粒子；
C.吸(xi)湿性小；
D.为了维持室内之(zhi)湿度(du)条件，热绝缘(yuan)性要高
洁净(jing)室(shi)(Clean Room)，亦称为无尘室(shi)或清净(jing)室(shi)。
「洁(jie)净室(shi)(shi)」是(shi)指(zhi)将(jiang)一定空间(jian)范围内(nei)之空气(qi)中(zhong)的微粒子、有害空气(qi)、细菌等之污(wu)染物排除(chu)，并将(jiang)室(shi)(shi)内(nei)之温度(du)、洁(jie)净度(du)、室(shi)(shi)内(nei)压力(li)、气(qi)流(liu)速度(du)与气(qi)流(liu)分布、噪(zao)音振动及照明(ming)、静电(dian)控制在某一需求(qiu)范围内(nei)，而(er)所(suo)给(ji)予特(te)别设计之房间(jian)。亦(yi)即是(shi)不论(lun)外在之空气(qi)条件如(ru)何变化，其(qi)室(shi)(shi)内(nei)均能俱有维持原先(xian)所(suo)设定要(yao)求(qiu)之洁(jie)净度(du)、温湿(shi)度(du)及压力(li)等性能之特(te)性。
洁净(jing)室(shi)主要之(zhi)作用在(zai)于控(kong)制(zhi)产(chan)品(如硅芯片等(deng))所接触之(zhi)大气的(de)洁净(jing)度日(ri)及温湿度，使产(chan)品能(neng)在(zai)一个良好之(zhi)环(huan)境空(kong)间中生产(chan)、制(zhi)造，此(ci)空(kong)间我们称(cheng)之(zhi)为(wei)「洁净(jing)室(shi)」。
(二)洁(jie)净室(shi)之等级
世界各国(guo)均有(you)自(zi)定规(gui)格，但普(pu)遍(bian)还(hai)是用美国(guo)联邦(bang)标(biao)准209为(wei)多，以下仅就209D及(ji)209E和世界上其它各国(guo)制定标(biao)准作介(jie)绍与相互比较。
209E与209D等(deng)大(da)之(zhi)(zhi)不同在于209E表示(shi)单(dan)位增加了公制(zhi)单(dan)位，洁净(jing)室等(deng)级(ji)以‵M′字头表示(shi)，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推(tui)，配合国际公制(zhi)单(dan)位之(zhi)(zhi)标准(zhun)化，M字母后(hou)(hou)之(zhi)(zhi)阿拉伯数目(mu)字是以每立(li)方(fang)公尺(chi)中>=0.5μm之(zhi)(zhi)微(wei)尘粒(li)子数目(mu)字以10的幂次方(fang)表示(shi)，取指数为之(zhi)(zhi)，若微(wei)尘粒(li)子数介于前后(hou)(hou)二(er)者完全(quan)幂次方(fang)之(zhi)(zhi)间，则以1.5、2.5、3.5….表示(shi)。
美(mei)国联邦标准FS 209D都以(yi)英制每(mei)立方英呎为(wei)单位，日(ri)本则是采用公制，即以(yi)每(mei)立方公尺为(wei)单位，以(yi)0.1μm微(wei)粒(li)子(zi)为(wei)计数标准。日(ri)本标准之(zhi)表(biao)示(shi)法以(yi)Class 1，Class 2，Class 3……Class8表(biao)示(shi)，好的(de)等级为(wei)Class 1，差则为(wei)Class 8，以(yi)每(mei)立方公尺中(zhong)微(wei)尘(chen)粒(li)子(zi)总数中(zhong)化为(wei)10的(de)幂次方，取其指数而得。
(三)洁净室控管之(zhi)项目
1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
2. 能防止微尘粒子(zi)之(zhi)产生。
3. 温度和湿度之控制。
4. 压力之调(diao)节。
5. 有害气体之排除。
6. 结构物(wu)与隔(ge)间之(zhi)气(qi)密性。
7. 静电之防制。
8. 电(dian)磁干扰预防。
9. 安全因素之考虑。
10. 节能(neng)之考(kao)量。
四)洁净(jing)室之分类(lei)
1.乱(luan)流式(Turbulent Flow)：
空(kong)(kong)气(qi)由空(kong)(kong)调箱经(jing)风管与(yu)洁净(jing)室(shi)内之空(kong)(kong)气(qi)过滤器(HEPA)进入洁净(jing)室(shi)，并由洁净(jing)室(shi)两侧隔间(jian)墙板或高架地(di)板回风。气(qi)流(liu)非(fei)直线型(xing)运动而(er)呈不规则之乱流(liu)或涡流(liu)状态。此(ci)型(xing)式适用(yong)于(yu)洁净(jing)室(shi)等(deng)级(ji)1,000-100,000级(ji)。
优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之(zhi)扩(kuo)充比较容易，在某些特殊(shu)用(yong)途场所(suo)，可并用(yong)无尘工作台，提(ti)高洁净室等(deng)级。
缺(que)点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易(yi)排出，易(yi)污染制程产(chan)品。另外若系统(tong)停止运转再激(ji)活，欲达需求之洁(jie)净度，往往须耗时(shi)相当长(zhang)一段时(shi)间。
2.层流式(Laminar)：
层流(liu)式(shi)(shi)(shi)空气气流(liu)运动成一(yi)均(jun)匀之(zhi)(zhi)直(zhi)线形(xing)，空气由覆盖率之(zhi)(zhi)过滤器进入室(shi)(shi)内(nei)，并(bing)由高架地板或(huo)两侧隔墙板回(hui)风(feng)，此(ci)型(xing)式(shi)(shi)(shi)适用(yong)于洁净(jing)室(shi)(shi)等级需定较(jiao)高之(zhi)(zhi)环境使用(yong)，一(yi)般其(qi)洁净(jing)室(shi)(shi)等级为(wei)Class 1~100。其(qi)型(xing)式(shi)(shi)(shi)可分(fen)为(wei)二(er)种：
(1)水(shui)平层流式(shi)：水(shui)平式(shi)空气自(zi)过(guo)滤器单方向吹(chui)出，由(you)对边(bian)墙(qiang)壁之回风(feng)(feng)系统回风(feng)(feng)，尘埃随风(feng)(feng)向排(pai)出室外，一般在下(xia)流侧污染较严(yan)重(zhong)。
优(you)点：构(gou)造(zao)简单，运(yun)转(zhuan)后短(duan)时间(jian)内即(ji)可变成稳定。
缺点：建造费用(yong)比乱流式高(gao)，室内空间不易扩充。
(2)垂直层(ceng)流(liu)式：房间天花板(ban)完(wan)全以(yi)ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹(chui)，可(ke)得较高之(zhi)洁净度(du)，在制(zhi)程中或(huo)工作(zuo)人员所产生的(de)尘(chen)埃可(ke)快速排出室外而不会影(ying)响其它工作(zuo)区域(yu)。
优点：管理容易，运转开始(shi)短时间内(nei)即(ji)可(ke)达稳(wen)定(ding)状(zhuang)态，不易为(wei)作业(ye)状(zhuang)态或作业(ye)人(ren)员所(suo)影响。
缺点(dian)：构造费(fei)用较高，弹(dan)性运用空间(jian)困(kun)难，天花板之吊(diao)架相(xiang)当占空间(jian)，维修(xiu)更换过(guo)滤器较麻烦。
3.复合式(Mixed Type)：
复合(he)式(shi)为将乱(luan)流式(shi)及层(ceng)流式(shi)予以复合(he)或并(bing)用(yong)，可提供(gong)局部超(chao)洁(jie)净之空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或(huo)ULPA过滤器将(jiang)制(zhi)程(cheng)区(qu)域(yu)或(huo)工(gong)作区(qu)域(yu)覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省(sheng)安(an)装运转费(fei)用(yong)(yong)。此型式需将(jiang)作业人员之工(gong)作区(qu)与产品和机(ji)器维修予以隔离，以避免机(ji)器维修时影响了工(gong)作及品质，ULSI制(zhi)程(cheng)大(da)都采用(yong)(yong)此种型式。
洁净隧道另有(you)二项优点：A.弹性扩(kuo)充容易； B.维(wei)修(xiu)设备(bei)时可在维(wei)修(xiu)区轻易执行。
(2)洁净(jing)(jing)(jing)管道(dao)(Clean Tube)：将产(chan)(chan)品(pin)(pin)流程经过的自(zi)动(dong)生产(chan)(chan)线包围(wei)并净(jing)(jing)(jing)化处理，将洁净(jing)(jing)(jing)度(du)等级(ji)提至100级(ji)以上。因(yin)产(chan)(chan)品(pin)(pin)和作业员及(ji)发尘(chen)环境(jing)相互(hu)隔离，少量之送风即可得到良(liang)好之洁净(jing)(jing)(jing)度(du)，可节(jie)省(sheng)能源，不需(xu)人工的自(zi)动(dong)化生产(chan)(chan)线为适宜使(shi)用(yong)。药品(pin)(pin)、食品(pin)(pin)业界及(ji)半导体业界均(jun)适用(yong)。
(3)并装局(ju)部洁(jie)净(jing)(jing)室(Clean Spot)：将洁(jie)净(jing)(jing)室等级10,000~100,000之乱流洁(jie)净(jing)(jing)室内之产品(pin)制程区(qu)的(de)洁(jie)净(jing)(jing)度等级提高(gao)为10~1000级以上，以为生产之用；洁(jie)净(jing)(jing)工作(zuo)台、洁(jie)净(jing)(jing)工作(zuo)棚(peng)、洁(jie)净(jing)(jing)风柜(ju)即属此类。
洁(jie)净工作台：等级(ji)Class 1~100级(ji)。
洁(jie)(jie)净工作棚：为(wei)在乱(luan)流式之(zhi)(zhi)洁(jie)(jie)净室空间内(nei)以防静电之(zhi)(zhi)透明塑(su)料布围成(cheng)一小空间，采用独立之(zhi)(zhi)HEPA或ULPA及空调送风(feng)机(ji)组而成(cheng)为(wei)一较之(zhi)(zhi)洁(jie)(jie)净空间，其等级为(wei)10~1000级，高度(du)在2.5米左右，覆(fu)盖面(mian)积约10m2以下(xia)，四(si)支(zhi)支(zhi)柱(zhu)并加装活动轮(lun)，可为(wei)弹性运用。
(五)洁净室气流(liu)之(zhi)流(liu)动
洁(jie)净室的洁(jie)净度往(wang)往(wang)受到气(qi)流的影响，换言之(zhi)(zhi)，即人、机(ji)器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之(zhi)(zhi)移动(dong)、扩散受到气(qi)流的支(zhi)配(pei)。
洁净(jing)室系利(li)用(yong)HEPA、ULPA过(guo)滤(lv)(lv)空(kong)气(qi)，其尘埃(ai)的(de)(de)收集率(lv)达99.97~99.99995%之多，因(yin)此经过(guo)此过(guo)滤(lv)(lv)器过(guo)滤(lv)(lv)的(de)(de)空(kong)气(qi)可说(shuo)十分干净(jing)。然而(er)洁净(jing)室内除(chu)了人以外，尚有机(ji)器等(deng)之发(fa)尘源，这些发(fa)生的(de)(de)尘埃(ai)一(yi)旦扩散(san)，即无法保持洁净(jing)空(kong)间，因(yin)此必(bi)须利(li)用(yong)气(qi)流(liu)将发(fa)生的(de)(de)尘埃(ai)迅速排(pai)出室外。
洁净(jing)(jing)室内的气(qi)流(liu)是左右洁净(jing)(jing)室性能的重要因(yin)素，一般洁净(jing)(jing)室的气(qi)流(liu)速(su)度(du)是选在0.25~0.5m/s
之间，此气流速(su)度属微(wei)风(feng)区域，易受(shou)人、机器等的(de)动作而干扰(rao)趋于混乱、虽提高(gao)风(feng)速(su)可抑制此一扰(rao)乱之影响(xiang)而保持洁(jie)净度、但因风(feng)速(su)的(de)提高(gao)，将影响(xiang)运(yun)转成本的(de)增(zeng)加，所以(yi)应在(zai)满足要求(qiu)的(de)洁(jie)净度水准(zhun)之时(shi)，能以(yi)适(shi)当(dang)的(de)风(feng)速(su)供(gong)应，以(yi)达到(dao)适(shi)当(dang)的(de)风(feng)速(su)供(gong)应以(yi)达到(dao)经(jing)济性(xing)效果。
另一方(fang)面欲达到洁(jie)净(jing)(jing)室洁(jie)净(jing)(jing)度(du)之稳定效果，均一气流之保(bao)(bao)持亦(yi)为一重(zhong)要因素，均一气流若无法保(bao)(bao)持，表示风(feng)速有(you)异，特别(bie)是在壁(bi)(bi)面，气流会延着壁(bi)(bi)面发生涡流作用(yong)，此时要实现(xian)高洁(jie)净(jing)(jing)度(du)事实上很(hen)困难。
垂直层流式(shi)方向要保持(chi)均一(yi)气流必须：(a)吹出面的(de)(de)风(feng)(feng)速不可有速度(du)上(shang)的(de)(de)差异；(b)地板回风(feng)(feng)板吸入(ru)面之风(feng)(feng)速不可有速度(du)上(shang)的(de)(de)差异。速度(du)过低或过高(gao)(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度(du)，气流则较(jiao)均一(yi)，目前(qian)一(yi)般(ban)洁净室，其风(feng)(feng)速均取(qu)在0.25~0.5m/s之间。
影响洁净室(shi)的气流(liu)因素很多，如制程设备、人员(yuan)、洁净室(shi)组装材、照(zhao)明(ming)器具等，同(tong)时对于生产设备上方气流(liu)的分流(liu)点(dian)，亦(yi)应列入考(kao)虑因素。
一般操作(zuo)(zuo)台或生产设(she)(she)(she)备等表面的(de)(de)气(qi)(qi)流(liu)(liu)分流(liu)(liu)点，应设(she)(she)(she)于洁净室空间与隔(ge)墙板间距2/3之(zhi)处，如此(ci)可使作(zuo)(zuo)业(ye)人员工作(zuo)(zuo)时(shi)，气(qi)(qi)流(liu)(liu)可从(cong)制(zhi)程(cheng)(cheng)区内部流(liu)(liu)向作(zuo)(zuo)业(ye)区，而(er)将(jiang)微尘(chen)带走；若分流(liu)(liu)点配置在制(zhi)程(cheng)(cheng)区前(qian)方，将(jiang)成为不当(dang)的(de)(de)气(qi)(qi)流(liu)(liu)分流(liu)(liu)，此(ci)时(shi)大部份(fen)的(de)(de)气(qi)(qi)流(liu)(liu)将(jiang)流(liu)(liu)至制(zhi)程(cheng)(cheng)区之(zhi)后，作(zuo)(zuo)业(ye)员操作(zuo)(zuo)所(suo)引起的(de)(de)尘(chen)埃(ai)将(jiang)被带到(dao)(dao)设(she)(she)(she)备后面，工作(zuo)(zuo)台因而(er)将(jiang)受(shou)到(dao)(dao)污染，良率也(ye)势必降低。
洁净室内的(de)工(gong)作(zuo)桌(zhuo)等障碍物，在相(xiang)接处均会有(you)涡流(liu)现(xian)象(xiang)发生(sheng)，相(xiang)对地在其(qi)附(fu)近之洁净度将(jiang)会较差，在工(gong)作(zuo)桌(zhuo)面钻上回风(feng)孔，将(jiang)使涡流(liu)现(xian)象(xiang)减少；组装材料之选择是(shi)否(fou)恰当、设备布局是(shi)否(fou)完善，亦为气流(liu)是(shi)否(fou)成为涡流(liu)现(xian)象(xiang)之重(zhong)要因素。
(六)洁净(jing)室之构(gou)成(cheng)
洁净(jing)室的构(gou)(gou)成(cheng)(cheng)是由下(xia)列各(ge)项系统(tong)所(suo)组(zu)成(cheng)(cheng)(在(zai)所(suo)组(zu)成(cheng)(cheng)的系统(tong)分子(zi)中是缺一不可的)，否则将(jiang)无法构(gou)(gou)成(cheng)(cheng)一完整(zheng)且品(pin)质(zhi)良好的洁净(jing)室：
(1)天(tian)花板系统：包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天(tian)花板格子(zi)梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
(2)空(kong)调系统：包括空(kong)气舱(cang)、过滤器系统、风车(che)等。
(3)隔墙板(Partitional wall)：包括(kuo)窗(chuang)户、门。
(4)地(di)(di)板：包括高架地(di)(di)板或(huo)防静电舒美地(di)(di)板。
(5)照明器(qi)具：包括(kuo)日光(guang)灯、黄(huang)色灯管(guan)等。
洁净室之建(jian)筑(zhu)主体构(gou)造(zao)，一般是用钢筋或骨水泥，但(dan)无论是何(he)种构(gou)造(zao)，必须满足(zu)如下之条件：
A.不会因温度变化与振(zhen)动而发生裂痕；
B.不(bu)易产生微尘粒子，且(qie)很难附(fu)着粒子；
C.吸(xi)湿性小；
D.为了维持室内之(zhi)湿度(du)条件，热绝缘(yuan)性要高
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